微細(xì)加工技術(shù)雜志

微細(xì)加工技術(shù)雜志介紹

《微細(xì)加工技術(shù)》是一本由信息產(chǎn)業(yè)部主管，中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第48研究所主辦的一本面向國(guó)內(nèi)外公開發(fā)行的電子類期刊，該刊主要報(bào)道電子相關(guān)領(lǐng)域的研究成果與實(shí)踐。該刊已入選統(tǒng)計(jì)源期刊。 《微細(xì)加工技術(shù)》主要內(nèi)容欄目有綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機(jī)械加工技術(shù)、納米技術(shù)。

《微細(xì)加工技術(shù)》主要發(fā)文機(jī)構(gòu)有：中國(guó)科學(xué)院（發(fā)文量192篇），該機(jī)構(gòu)主要研究主題為“光刻；電子束曝光；曝光機(jī)；電子束曝光機(jī)；掩模”；上海交通大學(xué)（發(fā)文量129篇），該機(jī)構(gòu)主要研究主題為“微機(jī)電系統(tǒng)；電系統(tǒng)；機(jī)電系統(tǒng)；MEMS；刻蝕”；清華大學(xué)（發(fā)文量60篇），該機(jī)構(gòu)主要研究主題為“微細(xì)；光刻；微細(xì)加工；離子束；聚焦離子束”。

《微細(xì)加工技術(shù)》主要發(fā)文主題有光刻、離子注入、電子束曝光、刻蝕、半導(dǎo)體、電路、微細(xì)、集成電路、微細(xì)加工、曝光機(jī)。其中又以”光刻（151篇）”居于榜首，發(fā)文量第二的是“離子注入”（105篇），發(fā)文量第三的是“電子束曝光”（79篇），發(fā)文主題最少的是“曝光機(jī)”，僅發(fā)文57篇。

微細(xì)加工技術(shù)影響力及榮譽(yù)

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微細(xì)加工技術(shù)投稿注意事項(xiàng)

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